岗位职责 （一）Scanner 机台日常运维与故障处理 负责产线 ASML/Nikon/KrF/I-line Scanner 光刻机整机运维，包含工件台、光学模组、真空系统、激光光源、曝光控制系统、载片传输系统全模块日常点检、异常实时响应抢修。 快速定位设备停机、套刻偏移、CD 线宽异常、光源能量不稳、真空泄漏、机械手报错等软硬件故障，完成根因分析、维修闭环，降低 MTTR、提升 OEE 稼动率。 执行 24h 轮班值守，处理黄光区紧急设备异常，保障产线不间断生产，配合制造班组完成产能交付。 （二）预防性维护 PM 与设备校准管理 编制、执行 Scanner 周期性预防保养计划，完成镜头清洁、光路校准、工件台精度标定、激光模块更换、真空检漏、耗材更换等标准 PM 作业。 建立设备精度管控台账，定期完成 Overlay、CD、Focus、曝光能量等关键光学参数校准，输出 SPC 监控报表，规避设备漂移引发工艺良率缺陷。 优化 PM 周期、耗材消耗方案，减少非计划停机，控制设备运维成本。 （三）设备技改、良率提升与工艺协同 协同光刻工艺工程师，定位设备侧导致的套刻不良、线条均匀性差、颗粒缺陷等问题，通过设备参数优化、硬件改造、程序优化改善工艺窗口与产品良率。 主导 Scanner 机台性能改善项目：提升机台吞吐量、降低缺陷发生率、优化多重曝光设备稳定性，输出 8D 改善报告、验证数据、落地改善方案。 参与新工艺、新节点上机验证，配合工艺完成 DOE 实验，调整设备硬件与控制参数匹配制程需求。 （四）新机导入、厂商对接与项目管理 参与新增 Scanner 设备进场、装机、调试、验收、量产爬坡全流程，对接原厂工程师完成设备交付与产能释放。 长期对接 ASML、尼康原厂技术支持，处理设备重大硬件故障、版本升级、固件更新，同步原厂技术资料与行业解决方案。 推进设备零部件国产化替代评估、测试与落地，降低原厂备件采购成本。

硬性基础要求 统招本科及以上，光学工程、微电子、机械设计、自动化、电子科学、物理等理工科专业；硕士优先。 具备12 寸晶圆 Foundry 光刻设备实操经验，熟悉 Scanner 曝光机整机结构、光学、真空、工件台核心原理；有 8 寸产线经验可酌情放宽。 熟练掌握 KrF / I-line Scanner 日常维护、故障维修、光路校准，能独立完成整机故障拆解与根因分析；有 ASML、Nikon 机型实操经验优先。 专业技能加分项 熟悉光刻关键指标：Overlay、CD、Focus、曝光剂量、激光光源控制系统，能联动工艺做设备侧良率改善。 掌握基础数据分析工具（JMP、Excel SPC），可独立输出设备趋势监控、故障统计、改善项目报告。 具备英文读写能力，可阅读原厂英文维修手册、设备报警日志、技术文档。 有新机导入、设备技改、8D 改善项目主导经验优先；熟悉 Track 匀胶显影配套设备者加分