负责高端光刻机（65nm以下）研制所需的光刻工艺验证、工艺方案研发、工艺平台搭建与设备维护保障等相关工作。 1黄光区光刻工艺支撑与保障，制定光刻工艺方案、参数与验证流程，从而确保对高端光刻机工艺性能的充分验证； 2光刻工艺诊断与性能分析，通过光刻工艺测试方法，辅助分析与诊断光刻机性能缺陷； 3光刻工艺相关设备维护与保养工作，能够处理Stepper、Track、Metrology等机台日常出现的各种问题 ； 4光刻工艺实验与光刻机需要开发，围绕客户需求开展工艺验证实验，测试光刻机工艺适应性。结合产业发展方向，开发并导入光刻机的设备需求。

1本科8年以上，硕士5年以上，具有黄光区光刻工艺开发与支撑保障等相关经验； 2熟悉黄光区工艺设备的操作，维护与保养，包括Stepper、Track、CD-SEM，Overlay量测设备等； 3熟悉光刻机应用需求，并对光刻机工艺参数制定与需求开发有一定经验者优选4对于光刻具有较强兴趣，具有自我驱动能力，能够承受工作压力，善于沟通交流且思路清晰。