一、岗位基本信息（ETCH 设备） 岗位：ETCH 设备工程师 / 资深工程师 / 副主管 / 主管（40–43 级） 地点：上海临港 12 寸先进制程厂（中芯东方） 机台类型：CCP/RIE/ICP 蚀刻机（应用材料、东京电子、拉姆研究） 制程：14nm/7nm / 特色工艺（FinFET、Logic、BCD、HV） 汇报：ETCH 设备经理 下属：40/41 级 0 人；42 级 1–3 人；43 级 3–6 人 二、核心岗位职责（按职级递增） 40 级｜设备工程师 / 高级工程师 负责 ETCH 机台日常点检、维护保养、故障处理、备件更换，保障机台正常量产。 执行PM 计划、腔体清洁、部件校准、匹配优化，稳定设备性能。 记录设备数据（OEE、MTBF、MTTR），分析并减少 down time。 配合工艺工程师调试 recipe、处理设备相关缺陷（particle、漏气、射频异常）。 撰写设备 SOP、维护记录、异常报告，执行 5S 与 EHS 规范。 41 级｜资深设备工程师 独立负责1–2 个关键机台 / 腔体，解决复杂重复性故障、腔体漂移、硬件匹配问题。 主导设备异常 RCA/8D，制定预防措施，推动设备稳定性提升。 负责新机台安装、IQ/OQ/PQ、验收、转移量产。 优化备件寿命、耗材成本、维护周期，推动 cost down 项目。 带教新人，参与设备标准制定、FMEA、控制计划。 42 级｜设备副主管 带小团队（1–3 人），负责排班、任务分配、绩效初评、日常管理。 统筹设备产能、OEE 提升、重大停机事故处理、跨部门异常协调。 主导设备改造、硬件升级、腔体一致性改善、备件国产化项目。 对接工艺、PIE、采购、质量，推动设备相关良率改善与异常闭环。 建立设备知识库、维护模板、经验沉淀，提升团队技术能力。 43 级｜设备主管 全面负责 ETCH 设备模块技术 + 管理，含维护、产能、成本、人力、安全。 制定年度设备计划、预算、人力配置、产能爬坡策略、备件策略。 主导先进制程（14nm/7nm）ETCH 设备选型、技术评审、风险评估。 负责团队建设、绩效、培训、晋升、安全管理，对接高层与跨部门关键会议。 推动设备标准化、数字化、自动化，提升整体 Fab 效率。

三、任职要求（逐级加码） 学历 • 本科及以上：微电子、机械、自动化、电子工程、材料、物理等相关专业。 • 43 级可放宽：优秀大专 + 10 年以上 ETCH 设备经验。 经验（关键） • 40 级：2–3 年 12 寸 FAB ETCH 设备经验，熟悉 ICP/RIE 结构与维护，有应用材料 / 东京电子机台经验优先。 • 41 级：3–5 年 ETCH 设备经验，独立处理过复杂故障、腔体匹配、新机导入。 • 42 级：5–7 年 ETCH 设备经验，1–2 年带团队，主导过设备改造或重大产能项目。 • 43 级：7–10 年 ETCH 设备经验，2–3 年管理经验，熟悉 14nm/7nm 设备架构与量产管理。 硬技能 • 精通 **ETCH 机台结构（腔体、射频、真空、气体、偏压、ESC）** 与原理。 • 熟练故障诊断、腔体清洁、部件更换、参数校准、机台匹配。 • 掌握OEE、MTBF、MTTR、SPC、FMEA、RCA/8D 工具。 • 熟悉MES、FAB 系统、设备自动化界面；英语读写能看懂手册即可。 软素质 • 抗压、能轮班 / 夜班、无尘室适应、动手能力强。 • 跨部门沟通强、结果导向、安全意识强、保密意识强。 各级别简单说明： 40 级：会操作、会保养、能独立处理常规故障。 41 级：懂原理、能攻坚、能搞定复杂故障与新机导入。 42 级：能带人、能排产、能扛产能与重大异常。 43 级：模块总负责人，技术 + 管理双担，对接高层。