1、负责XY/θ Stage运动控制、扫描曝光轨迹、速度稳定性与定位精度验证。 2、开发alignment流程、encoder坐标映像、scan window与曝光同步控制。 3、整合温控、振动、真空吸附、气浮/导轨与安全互锁等设备控制逻辑。 4、建立Stage动态误差、repeatability、settling time与throughput测试方法。 5、支持现场scan异常、振动、定位偏差与实时控制问题排查。

1、熟悉encoder、servo、scan同步、振动与定位精度 2、需具备高精度运动控制经验 （需补强曝光时序与alignment场景）