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薄膜(PVD/Metal)资深工艺工程师
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15-40万 广州 本科 3-5年 招聘 1 人 预计佣金 43.2K 1天前刷新/2天前发布
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JD基本信息
岗位职责
1. 【工艺 Ownership】负责 PVD 物理气相沉积设备(AMAT Endura、北方华创等溅射/金属化设备)所辖工艺模块的量产维护与稳定性管理,作为该模块 Owner 处理日常工艺问题,达成良率、产能、成本等各项生产指标; 2. 【工艺开发与优化】主导 PVD 金属薄膜工艺(Ti、TiN、Ta、TaN、Al、Cu 种子层、W 等)的开发、验证、优化与量产导入,管控膜厚、方阻、均匀性、附着力、台阶覆盖、Particle 等关键指标,持续扩展工艺窗口; 3. 【DOE 与数据分析】独立设计并执行 DOE,系统优化溅射功率、气压、温度、偏压、准直等参数,结合量测与统计分析建立并优化工艺 Recipe; 4. 【量测与在线监控】主导膜厚/方阻量测及缺陷数据的分析,运用 SPC/FDC/APC/R2R 进行在线监控,及时识别工艺漂移并实现异常快速响应与闭环管理; 5. 【良率与 RCA】主导 PVD 工艺异常(膜厚/方阻漂移、附着不良、Particle、Arcing 等)的根因分析(RCA),应用 8D/FMEA/5Why 制定并跟踪改善措施,持续提升良率与 Cpk; 6. 【文件与体系】建立并维护 Recipe、SOP/OCAP/Control Plan/FMEA 等工艺与质量体系文件,规范作业流程,并对技术员及初级工程师开展系统性培训与带教; 7. 【设备与量产导入】负责新型 PVD 设备的选型评估、安装调试与资质验收(IQ/OQ/PQ)、靶材/耗材管理与成本优化(Cost Down),推动新制程导入与技术转移; 8. 【跨部门协作】与 Integration/PIE、器件、光刻、刻蚀、CVD、电镀、良率等团队紧密协作,配合解决制程整合问题,达成器件电性与产品良率目标,推动工艺平台升级。
任职要求
1、本科以上学历,微电子、材料科学、物理、光学、化学、自动化、电子工程等相关专业 2、具有 5 年及以上(本科)/ 3 年及以上(硕博)半导体 PVD/金属化工艺相关工作经验;具备 8 寸或 12 寸晶圆厂量产工艺经验、做过 Cu 大马士革工艺者优先。 深入掌握 PVD 溅射/蒸发沉积原理,熟悉 AMAT Endura、北方华创等主流设备结构与工作机理,了解磁控溅射、直流/射频电源、真空系统、靶材及准直器等核心部件; 3、熟悉 Ti/TiN/Ta/TaN/Al/Cu 种子层/W 等金属层工艺特性,具备膜厚、方阻、均匀性、附着力、台阶覆盖等关键指标的调控能力; 4、具备扎实的 DOE 实验设计与统计能力,熟练运用 JMP、Minitab,并能运用 Python/SQL 处理与分析海量工艺/量测数据; 5、精通 SPC、FDC、APC、R2R 等先进过程控制方法,具备工艺监控与闭环管理能力,熟悉 Cpk/Ppk 等能力指标; 6、熟悉 FMEA、8D、鱼骨图、5Why、DMAIC/PDCA 等质量分析与持续改善工具,具备系统性根因分析与问题解决能力; 7、具备 OEE/稼动率分析与设备效率提升经验,熟悉 PM 计划、靶材/腔体维护及 SEMI 标准规范者优先。
所属行业:
半导体/芯片/集成电路
职能分类:
工艺/制程工程师(PE)
工作城市:
广州,招聘1人,详细地址:黄埔
职位要求
学历要求:
本科
工作年限:
3-5年
技能/证书:
-
薪资福利
年薪范围:
15-40万*14薪
薪资福利:
双休,五险一金
团队架构
所属部门:
-
下属人数:
-
部门架构:
-
汇报对象:
-
职级职称:
-
面试信息
面试轮次:
3轮
面试流程:
-
视频面试:
不可以接受
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